項目概況 中國科學院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所投影式光刻機采購項目 招標項目的潛在投標人應(yīng)在..;北京市海淀區(qū)丹棱街號互聯(lián)網(wǎng)金融中心層獲取招標文件,并于年月日 點分(北京時間)前遞交投標文件。
一、項目基本情況
項目編號:-
項目名稱:中國科學院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所投影式光刻機采購項目
預(yù)算金額:. 萬元(人民幣)
最高限價(如有):. 萬元(人民幣)
采購需求:
包號
貨物名稱
數(shù)量 (套)
簡要要求
是否允許采購進口產(chǎn)品
最高限價
投影式光刻機
該機用于集成電路生產(chǎn)中的微光刻工藝。是用來將掩膜版上形成的集成電路圖形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重復投影成像在晶圓表面上。該機具備(聯(lián)機)自動涂膠顯影單元功能和配置。 該機含有涂膠顯影單元、晶圓自動傳輸系統(tǒng)、版庫自動管理系統(tǒng)、可編程掩膜版光欄、自動調(diào)焦調(diào)平、晶圓自動對準、掩膜版自動對準、鏡頭倍率控制、自動光量控制、圖形自動優(yōu)化設(shè)計計算、故障顯示報警等先進功能。 將曝光掩膜版和晶圓分別裝入掩膜版庫和晶圓傳輸單元后,掃描式光刻機將按照操作軟件設(shè)定的數(shù)據(jù)格式、工作時序自動完成包括掩膜版、晶圓的交換、自動對準、自動調(diào)焦、自動分步曝光在內(nèi)的工作過程。
是
萬元
合同履行期限:合同簽訂后個月內(nèi)
本項目(不接受 )聯(lián)合體投標。
二、申請人的資格要求:
.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定;
.落實政府采購政策需滿足的資格要求:
本項目不屬于專門面向中小微企業(yè)、監(jiān)獄企業(yè)、殘疾人福利性單位采購的項目
.本項目的特定資格要求:) 投標人須符合《中華人民共和國政府采購法》第二十二條的規(guī)定;(具體為供應(yīng)商參加政府采購活動應(yīng)當具備下列條件:(一)具有獨立承擔民事責任的能力;(二)具有良好的商業(yè)信譽和健全的財務(wù)會計制度;....
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