吋超聲掃描設(shè)備 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱(chēng)： 吋超聲掃描設(shè)備 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： -其他分析儀器 采購(gòu)需求概況 ： 本項(xiàng)目待開(kāi)發(fā)片間混合鍵合可以實(shí)現(xiàn)百納米至微米的鍵合節(jié)距，可以變革性改善片內(nèi)與片間互連能力失調(diào)的嚴(yán)重問(wèn)題。界面缺陷、沾污等會(huì)在鍵合界面產(chǎn)生界面空洞，進(jìn)而對(duì)鍵合強(qiáng)度產(chǎn)生影響，超聲掃描設(shè)備是表征界面空洞的尺寸和數(shù)量的必要檢測(cè)設(shè)備，因此急需此設(shè)備開(kāi)展芯片至晶圓鍵合界面的質(zhì)量評(píng)估進(jìn)而支撐鍵合工藝優(yōu)化。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。