英寸晶圓干法去膠機(jī) 項(xiàng)目所在采購意向： 中國科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院微電子研究所 采購項(xiàng)目名稱： 英寸晶圓干法去膠機(jī) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： 采購標(biāo)的名稱：英寸晶圓干法去膠機(jī)。采購標(biāo)的主要功能：設(shè)備產(chǎn)生的等離子體與有機(jī)聚合物發(fā)生氧化反應(yīng)去除光刻膠。主要目標(biāo)：射頻功率: @.;極限壓力 &; .- 晶圓尺寸 。 。采購數(shù)量：臺(tái) 。采購標(biāo)的所需質(zhì)量：去膠時(shí)對光刻膠下薄膜材料損傷小、刻蝕精度高、片內(nèi)均一性好、片間重復(fù)率高。服務(wù)、安全、時(shí)限要求：提供設(shè)備驗(yàn)收合格后年質(zhì)保。提供符合現(xiàn)場實(shí)際情況的設(shè)備安裝方案。設(shè)備訂單生成后年內(nèi)交貨安裝完成。 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。