有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： 有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： 電氣物理設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： 臺(tái) 垂直式進(jìn)氣方式； 樣品尺寸滿足*，*，*，*，*： 采用直流電源加熱，最高加熱溫度℃，溫度偏差小于.℃； 包含路硫源源，路鉬源源和路氣態(tài)源； 材料種類：型； 最高工藝溫度：℃； 外延尺寸：兼容英寸晶圓。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。