有機金屬化學氣相沉積 項目所在采購意向： 年至月政府采購意向 采購單位： 采購項目名稱： 有機金屬化學氣相沉積 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 電氣物理設備 采購需求概況 ： 臺 垂直式進氣方式； 樣品尺寸滿足*，*，*，*，*： 采用直流電源加熱，最高加熱溫度℃，溫度偏差小于.℃； 包含路硫源源，路鉬源源和路氣態(tài)源； 材料種類：型； 最高工藝溫度：℃； 外延尺寸：兼容英寸晶圓。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。