低溫超深寬比反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購意向： 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所 采購項(xiàng)目名稱： 低溫超深寬比反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 其他儀器儀表 采購需求概況 ： 低溫刻蝕深度：~ μ；最小特征尺寸：~ ；晶圓內(nèi)的均一性&;%； 刻蝕深度：~ μ；最小特征尺寸： μ；晶圓內(nèi)的均一性&;%； 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。