芯片級(jí)測(cè)試平臺(tái) 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 年月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 采購(gòu)項(xiàng)目名稱(chēng)： 芯片級(jí)測(cè)試平臺(tái) 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： 其他試驗(yàn)儀器及裝置 采購(gòu)需求概況 ： 適合英寸以下晶圓測(cè)試，電機(jī)行程在/方向均為&;=；對(duì)同一晶圓上的同一器件，光學(xué)對(duì)準(zhǔn)重現(xiàn)性&;.；雙波長(zhǎng)耦合光源：輸出及的單點(diǎn)光源；高分辨率芯片移動(dòng)滑臺(tái)：可調(diào)節(jié)及度旋轉(zhuǎn)。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： / 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。