感應(yīng)耦合等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)設(shè)備 項目所在采購意向： 年月政府采購意向 采購單位： 采購項目名稱： 感應(yīng)耦合等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)設(shè)備 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： 感應(yīng)耦合等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)設(shè)備主要用于傳感器成膜工藝，生產(chǎn)低應(yīng)力薄膜、鍍膜。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。