電子束蒸發(fā)材料制備系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向: 復(fù)旦大學(xué)年月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位: 復(fù)旦大學(xué) 采購(gòu)項(xiàng)目名稱: 電子束蒸發(fā)材料制備系統(tǒng) 預(yù)算金額: .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目: 其他試驗(yàn)儀器及裝置 采購(gòu)需求概況 : 需要購(gòu)買電子束蒸發(fā)材料制備系統(tǒng)一套,包含以下設(shè)備:電子束蒸發(fā)系統(tǒng)一套;進(jìn)樣腔一套;等離子體物理實(shí)驗(yàn)儀一套,用于我系近代物理實(shí)驗(yàn)教學(xué)。 組件參數(shù)和要求: * 電子束蒸發(fā)系統(tǒng),本底真空度小于-,配不少于個(gè)靶位和電子束源,最大功率,高壓-可調(diào),最大燈絲電流;最大發(fā)射束流不小于,磁偏轉(zhuǎn)角度°,最大蒸發(fā)速率不小于./。 * 進(jìn)樣腔,真空度小于-,傳樣桿行程不小于。 * 等離子體物理實(shí)驗(yàn)儀,本底真空優(yōu)于-,直流電源最大參數(shù)/,工作氣壓以內(nèi)可調(diào),最大放電電流不小于.,腔體尺寸:直徑約*長(zhǎng)度;配套磁場(chǎng)-可調(diào)。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間: - 備注: 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排,具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。
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