反應(yīng)離子刻蝕設(shè)備 項目所在采購意向： 上海交通大學(xué)年月政府采購意向 采購單位： 上海交通大學(xué) 采購項目名稱： 反應(yīng)離子刻蝕設(shè)備 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 其他儀器儀表 采購需求概況 ： 反應(yīng)離子刻蝕設(shè)備，臺，反應(yīng)離子刻蝕設(shè)備要求為：）工作壓力范圍： 至 ；）刻蝕分辨率：≤ ；）射頻功率范圍： 至 ；）支持基片尺寸： ；）刻蝕均勻性：≤ ±%。供貨期：簽訂合同之日起，個月貨到采購人指定地點并安裝驗收完畢。具體事宜由成交供應(yīng)商按采購人指定地點及時間安排要求執(zhí)行。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。