真空多腔體磁控濺射系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 上海交通大學(xué)年月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 上海交通大學(xué) 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： 真空多腔體磁控濺射系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： 其他儀器儀表 采購(gòu)需求概況 ： 真空多腔體磁控濺射系統(tǒng)，臺(tái)，真空多腔體磁控濺射系統(tǒng)要求為：）真空度：≤ .*（-） ；）射頻源功率：≥ ；）薄膜均勻性：± % （ ）；）沉積溫度：室溫至°。供貨期：簽訂合同之日起，個(gè)月內(nèi)貨到采購(gòu)人指定地點(diǎn)并安裝驗(yàn)收完畢。具體事宜由成交供應(yīng)商按采購(gòu)人指定地點(diǎn)及時(shí)間安排要求執(zhí)行。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。