晶圓臨時鍵合設備 項目所在采購意向： 年月政府采購意向 采購單位： 采購項目名稱： 晶圓臨時鍵合設備 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 其他試驗儀器及裝置 采購需求概況 ： . 基板尺寸英寸及向下兼容 . 溫度≤℃，精度≤±%，均勻性≤±.%或≤±℃（取大者） . 鍵合壓力，控壓精度≤±%，壓力均一性≤±%或≤±（取大者） 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。