直流偏壓增強(qiáng)微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)設(shè)備 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 西安電子科技大學(xué)年月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 西安電子科技大學(xué) 采購(gòu)項(xiàng)目名稱(chēng)： 直流偏壓增強(qiáng)微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)設(shè)備 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： 其他電氣機(jī)械設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： 直流偏壓增強(qiáng)微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)設(shè)備，采購(gòu)數(shù)量臺(tái)，要求設(shè)備個(gè)月內(nèi)保修，售后團(tuán)隊(duì)處于國(guó)內(nèi)，售后服務(wù)長(zhǎng)期有效，廠家通常提供專(zhuān)屬技術(shù)顧問(wèn)電話(huà)/微信支持，小時(shí)內(nèi)線上對(duì)接，小時(shí)內(nèi)可至現(xiàn)場(chǎng)解決問(wèn)題，維護(hù)方便，價(jià)格合理。 具體參數(shù)為：*.微波電源: 功率≥; .微波泄漏率≤/； .水冷式沉積臺(tái)，面積≥英寸； .單晶有效生長(zhǎng)面積≥英寸； *.微波換向器內(nèi)天線表面全鍍金； *.≥功率下連續(xù)生長(zhǎng)時(shí)間≥； .冷卻水:≥/流量可調(diào), 壓差≥.； .功率下, 水溫~℃(不凝露)； .極限真空≤(油泵), ≤- (分子泵)； *.氦檢漏率≤-/； .分子泵排氣速度≥/; .工作壓力~; .≥路，:，:，:，:，:，:； *.直流偏壓-可調(diào)； .溫度范圍℃-℃； *.交貨期四個(gè)月 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。