無掩膜激光直寫光刻機(jī) 項(xiàng)目所在采購意向： 南京大學(xué)年至月政府采購意向 采購單位： 南京大學(xué) 采購項(xiàng)目名稱： 無掩膜激光直寫光刻機(jī) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 半導(dǎo)體器件參數(shù)測(cè)量?jī)x 采購需求概況 ： 南京大學(xué)擬采購無掩膜激光直寫光刻機(jī)一套，主要用于微納尺度下，直接通過計(jì)算機(jī)控制激光束進(jìn)行高精度、定制化的復(fù)雜二維或三維結(jié)構(gòu)加工與制備。主要采購需求如下：)工作方式：無掩膜激光直寫光刻；)最大曝光面積：≤*；)最大基板厚度：；)極限解析：≤；)套刻精度：≤@；)主動(dòng)聚焦范圍：≥±μ；)線寬均勻性：≤ @；)曝光區(qū)域溫度穩(wěn)定性：± . ℃；)曝光面能量均勻性：≤%；)最大產(chǎn)能：≥/ @.μ；)光源：光源，功率，波長(zhǎng)；)具備自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)功能；)具備自定義標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)功能；)具備可視化定點(diǎn)曝光功能；)具備不規(guī)則樣片曝光功能；)質(zhì)保期：年。 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。