深圳大學(xué)電子束曝光機(jī)意向公開 采購單位: 深圳大學(xué) 項(xiàng)目名稱: 電子束曝光機(jī) 預(yù)算金額(元): ,,. 采購品目: 教學(xué)儀器 采購需求概況: 電子束曝光是由高能量電子束和光刻膠相互作用,使膠由長(短)鏈變成斷(長)鏈,實(shí)現(xiàn)曝光,相比于光刻機(jī)具有更高的分辨率,主要用于制作光刻掩模版、硅片直寫和納米科學(xué)技術(shù)研究。 預(yù)計(jì)采購時(shí)間: - 聯(lián)系人: 陳老師 聯(lián)系電話: 備注: 無 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)
快捷閱讀