深圳大學(xué)電子束曝光機(jī)意向公開
采購單位:
深圳大學(xué)
項(xiàng)目名稱:
電子束曝光機(jī)
預(yù)算金額(元):
,,.
采購品目:
教學(xué)儀器
采購需求概況:
電子束曝光是由高能量電子束和光刻膠相互作用,使膠由長(短)鏈變成斷(長)鏈,實(shí)現(xiàn)曝光,相比于光刻機(jī)具有更高的分辨率,主要用于制作光刻掩模版、硅片直寫和納米科學(xué)技術(shù)研究。
預(yù)計(jì)采購時(shí)間:
-
聯(lián)系人:
陳老師
聯(lián)系電話:
備注:
無
本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)
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